真空機(jī)械泵（Mechanical Vacuum Pump）是利用機(jī)械動力將氣體排放至外部，從而形成真空的一種泵。它主要是由驅(qū)動裝置、泵體、活塞等組成，其工作原理是通過不斷的吸收和排放氣體來降低被抽物質(zhì)所在系統(tǒng)的壓強(qiáng)，達(dá)到真空的效果。

真空機(jī)械泵通常包括如下幾個部分：

1. 驅(qū)動裝置：包括電機(jī)、帶輪、聯(lián)軸器等，是泵體工作的動力源。

2. 泵體：由葉輪、泵腔、進(jìn)氣口、出氣口等組成，是真空泵的核心部件。

3. 活塞：和泵體內(nèi)的葉輪配合工作，通過活塞向外排放氣體，將壓力從系統(tǒng)中降低，從而形成真空。

真空機(jī)械泵的主要特點有：

1. 抽氣速度快：真空機(jī)械泵的抽氣速度通常很快，可以快速將系統(tǒng)內(nèi)的壓強(qiáng)降低到需要的真空度。

2. 真空度高：真空機(jī)械泵能夠達(dá)到比較高的真空度，通?？梢赃_(dá)到10-2 ~ 10-3 Pa左右。

3. 維護(hù)成本低：真空機(jī)械泵結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)成本相對較低。

4. 噪音小：相比其他類型的泵，真空機(jī)械泵的噪音較小。

真空機(jī)械泵適用于各種真空設(shè)備中，如半導(dǎo)體制造、真空干燥、真空冷凍、真空蒸餾、真空熱處理等。與此同時，真空機(jī)械泵還可以和其他類型的泵組合使用，以提高其抽氣速度和真空度。

真空分子泵是一種用于實現(xiàn)高真空的泵，它采用無油抽程原理，通過氣體分子間的碰撞和擴(kuò)散來達(dá)到高效排放氣體。它通常由壓縮區(qū)、冷阱和分子板等組成。

壓縮區(qū)位于真空分子泵的上部，內(nèi)部裝有旋轉(zhuǎn)葉片和離心式離子發(fā)生器等部件，用于增加氣體的動能。冷阱位于泵的中部，用于捕獲氣體中的水分和其他易凝結(jié)物質(zhì)，防止其對下游設(shè)備產(chǎn)生影響。分子板位于泵的下部，由多孔金屬板組成，可以過濾掉氣體中的分子，使其得到充分?jǐn)U散，最終被排放出去。

真空分子泵通常包括如下幾個部分：

1. 壓縮區(qū)：位于泵的上部，其內(nèi)部附有旋轉(zhuǎn)葉片和離心式離子發(fā)生器等。

2. 冷阱：位于泵的中部，用于捕獲氣體中的水分和其他易凝結(jié)的物質(zhì)。

3. 分子板：位于泵的下部，由一系列多孔金屬板組成，可以有效過濾掉氣體中的分子，使其得到充分?jǐn)U散，最終被排放出去。

真空分子泵的主要特點有：

1. 真空度高：真空分子泵能夠達(dá)到極高的真空度，通常可達(dá)到10-9 ~ 10-11 Pa左右。

2. 抽氣速度快：真空分子泵的抽氣速度較快，通常高達(dá)幾千升/秒。

3. 無油化設(shè)計：真空分子泵采用無油抽程，操作和維護(hù)相對簡單，而且不會產(chǎn)生油蒸氣和油污染。

4. 低噪音：真空分子泵工作噪音小，不會對環(huán)境和操作者產(chǎn)生干擾。

真空分子泵適用于各種需要超高真空的領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)器件制造、石油化工等。與此同時，真空分子泵還可以和其他類型的泵組合使用，以提高其抽氣速度和真空度。