真空燒結(jié)爐顧名思義就是在真空環(huán)境下對(duì)原料進(jìn)行加熱燒結(jié)的爐子，常常被用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)等。氮?dú)鉄Y(jié)爐小編今天來給大家介紹的內(nèi)容是，真空燒結(jié)爐安全操作規(guī)程，希望能給大家提供幫助。

　　1．中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷0卻水源——蓄水池之水須充滿，水中不得有雜質(zhì)。
　　2．開動(dòng)水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷·卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。
　　3．檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵皮帶盤，如無異常，可在關(guān)閉蝶閥的情況下，啟動(dòng)真空泵。
　　4．檢查真空爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一0級(jí)衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。
　　5．檢查真空爐體的杠桿手把啟動(dòng)是否靈活。
　　6．檢查轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì)是否合乎要求。
　　7．檢查石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。
　　8．在以上準(zhǔn)備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啟動(dòng)規(guī)則，試啟動(dòng)變頻，成功后停止變頻，方可開爐。
　　9．真空爐體上蓋的觀察、測(cè)溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便觀察和測(cè)溫。
　　10．真空燒結(jié)爐裝爐時(shí)應(yīng)根據(jù)不同燒結(jié)產(chǎn)品，采取相應(yīng)裝爐方式。按有關(guān)材質(zhì)裝爐規(guī)則裝盤，不得隨意更改。