真空燒結(jié)爐是一種高溫處理設(shè)備,能夠在真空或惰性氣氛下對陶瓷、金屬等材料進(jìn)行燒結(jié)、熔煉和處理。該設(shè)備操作簡單,控制精度高,具有高溫性能穩(wěn)定、環(huán)境干凈、產(chǎn)品品質(zhì)優(yōu)良等特點。
真空燒結(jié)爐主要由爐體、加熱裝置、真空系統(tǒng)、氣體設(shè)備、溫度控制器、PLC系統(tǒng)等部分組成。爐體通常采用不銹鋼材料,內(nèi)壁光滑,能夠充分保證高溫下的真空密封;加熱裝置通常采用電阻絲、加熱板等,可以根據(jù)需要調(diào)節(jié)加熱功率和溫度范圍;真空系統(tǒng)則包括泵、閥門等,能夠?qū)崿F(xiàn)精密的真空度控制;氣體設(shè)備可以添加氮?dú)?、氬氣等惰性氣體來控制爐內(nèi)氣氛;溫度控制器可以精確控制爐內(nèi)溫度;PLC系統(tǒng)則可以實現(xiàn)自動化控制運(yùn)行。
真空燒結(jié)爐是一種非常重要的高溫處理設(shè)備,用于陶瓷、金屬、半導(dǎo)體、電子等領(lǐng)域中的材料燒結(jié)、熔煉和處理,具有以下應(yīng)用:
1. 金屬材料制備:真空燒結(jié)爐可以用于制備鎢、鉬、鐵、鎳等金屬及其合金材料,如鋼鐵、不銹鋼、鈷基合金等。
2. 陶瓷材料燒結(jié):真空燒結(jié)爐可用來燒結(jié)各種陶瓷材料,如氧化鋁、氮化硅、碳化硅、氧化鋯、氧化鎂等陶瓷。
3. 半導(dǎo)體材料制備:真空燒結(jié)爐可以用于半導(dǎo)體材料的制備工藝,如燒結(jié)氧化鈣、氧化鎂、三氧化二鋁等五金屬氧化物(BMO)材料、制備鐵電材料以及各類晶體管基片,LED芯片等。
4. 電子材料處理:真空燒結(jié)爐可以在空氣中處理固態(tài)電子材料,如超導(dǎo)材料、磁性材料等,以及處理透明導(dǎo)電膜等材料。
真空燒結(jié)爐廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、冶金工業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、生命科學(xué)、金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)中的各種高溫處理工藝,常用于制備鎢、鉬、鐵、鎳、合金、陶瓷等材料,以及燒結(jié)精密陶瓷零部件、晶體管基片、LED芯片等。例如,它可以用于制備高純度金屬材料、鋼鐵合金、精密陶瓷等材料,同時也是制備陶瓷零部件、石墨材料、半導(dǎo)體器件和顯示芯片等的重要設(shè)備之一。
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