真空爐的安全使用是安全生產(chǎn)的重要組成部分，除了做實(shí)驗(yàn)以外，建議不要讓停留在高溫爐管附近。在使用時(shí)要注意以下事項(xiàng)：

　　1、在實(shí)驗(yàn)工作完畢以后，要關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細(xì)查看其它電源是否關(guān)閉，如果沒(méi)有就隨手關(guān)閉。

　　2、在使用管電爐時(shí)還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發(fā)生中毒的情況。

　　3、在沒(méi)有使用到時(shí)，要將爐子的長(zhǎng)短推桿的前端朝上放置，以免污染。

　　4、在晶片進(jìn)出爐口承接boat的holder的時(shí)候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。

　　在試驗(yàn)過(guò)程中，請(qǐng)節(jié)約純水的使用，一旦發(fā)現(xiàn)安全隱患或者不正常的現(xiàn)象時(shí)，要盡快通知有關(guān)技術(shù)人員，以防止事故的發(fā)生。